ALPhANOV單激光故障注入顯微鏡S-LMS
- 品 牌：ALPhANOV
- 型 號：S-LMS
- 技術資料：
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產品介紹
用于激光故障注入的S-LMS顯微鏡站是集成電路安全評估的高精度平臺。它允許將激光點聚焦在芯片上并通過背面掃描樣品，以評估電子元件的安全級別。S-LMS顯微鏡允許注射、聚焦和掃描一個激光點至1米的點大小，同時用紅外攝像機從背面觀察樣品。
性能特點
980 和/或 1064 nm 的單模激光
脈沖亞納秒到連續波
時間精度 <8 ps
頻率高達 250 MHz
>92% 透射率
同軸紅外視覺
可以由Python控制和驅動
可選功能與配件
光電發射選項
激光熱刺激選項
esDynamic軟件平臺
技術參數
單模光纖激光器
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PDM+/PDM+ HP |
PDM4+ and PDM4+ HP |
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脈沖持續時間 |
從1.5納秒到連續波 |
從1.5納秒到連續波 |
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峰值功率 |
高達3.2瓦 |
高達10瓦 |
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波長 |
980納米；1064牛米 |
980納米；1064牛米 |
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重復率 |
從單發到250兆赫 |
從單發到250兆赫 |
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命令接口 |
TTL/LVTTL /軟件& dlls |
TTL/LVTTL /軟件& dlls |
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光束質量 |
單模 |
單模 |
InGaAs 紅外相機
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Captor |
640x512 µm |
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動態量程 |
140 dB |
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接口 |
USB(包含軟件) |
電學
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電壓 |
220 V/110 V |
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電流 |
16 A |
自動位置調節系統
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軸數 |
3 |
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行程范圍 |
52 mm |
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分辨率 |
0.315 µm |
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重復性 |
+/- 0.8 µm |
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速度（max.） |
20 mm/s |
產品應用
故障注入
光發射
熱刺激
