WASCO真空傳感器Barracuda
- 品 牌：WASCO
- 型 號：Barracuda
- 技術資料：
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產品介紹
Wasco的Barracuda系列高純度(UHP)傳感器專為在苛刻的市場應用中需要檢測腐蝕性介質的應用而設計。這些傳感器非常適合檢測氣體或液體介質，而不會對過程介質造成污染。該系列非常適合要求在高精度、嚴格公差應用中檢測腐蝕性介質的系統。
性能特點
我們為下一代半導體加工設備中的高腐蝕性環境設計了這些傳感器。梭魚系列的額定應用周期超過10，000，000。梭魚擁有滿足或超過SEMI F20 (UHP)的材料，臨界點蝕溫度性能> 35℃。所有傳感器都經過氦泄漏測試，達到每SEMI F1≤1 x 10-9標準立方厘米/秒氦。
技術參數
產品尺寸
產品應用
煤氣箱
IGS氣體面板
氣體分配系統
閥門歧管箱
蝕刻和沉積系統
