膜組件適合脫氣、給氣的結構，它不透液體,只透氣體。選項多,以多種類型迎合多種用途-可膜內處理。膜外部磨皮減少結露的產生，不使用氮氣,能提高一定的效率，可按不同組件可脫至達ppb單位。

顯影液用

處理流量大

產地：韓國

膜材料：PFA

膜面積：約0.33 m²

本體（真空側）：SUS 304

接頭（潤濕側）：PTFE

標準流速：50 CC/min

標準流量時的壓力損失：0.05 MPa(0.05 kg/cm²)

除氣性能：8.4 ppm以下⇒7.2 ppm以下

脫氣標準：22~24 ℃ 超純水

連續流量：50 kΩ

連續流速：50 CC/min

真空壓力：100 Torr

尺寸：Ø 102 × 155 mm（不包括配件）

液體入口直徑：Ø6管接頭

液體出口直徑：Ø6管接頭

真空孔：PT 1/ 4

Max液體溫度：40 ℃或以下

Max工作壓力：0.2 MPa(0.2 kg/cm²)指模塊內部壓力

正常壓力：0.2 MPa(0.2kg/cm²)

水容量：200 ml

去離子水的脫氣、超音波清洗用水脫泡沫處理、含有表面活性劑的液體