Nano Vibration Analyzer 是一種集成在技術顯微鏡中的光纖耦合激光干涉式測振儀。它是測量微結構、MEMS 和懸臂梁的動態行為和靜態變形的理想選擇。測量對象可以使用 X-Y 表在大范圍內定位和掃描，并且可以使用 USB 攝像頭進行觀察。顯微鏡鏡頭是可互換的。激光干涉式測振儀可實現的路徑分辨率在亞納米范圍內為 5 pm，從而可以分析高達 5 MHz 的振動頻率。專門開發的軟件可用于記錄和顯示測量數據。除了振動的頻率分析和測量值的觸發記錄之外，這還可以控制 X-Y 表和外部頻率發生器。更廣泛的測量序列可以使用腳本自動化。

高精度、非接觸式振動測量和微小物體靜態撓度測量

直接測量位移

靈活的樣品定位

各種可更換鏡頭（10x、50x）

用于監控測量對象的 USB 攝像頭

應用程序特定配置

用于光譜分析的 FFT 軟件

Windows 和 Linux 下 OEM 軟件的開放接口

顯微鏡頭也可作為 OEM 模塊單獨提供