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可烘烤泄漏閥用于控制氣體從外部源流入真空系統。軟金屬墊被壓在較硬的金屬座上，為準確的氣流控制創造必要的密封。
典型應用包括氬氣處理、濺射、系統吹掃、氣體控制和激光回填
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