ONTO光刻系統JetStep G35
- 品 牌：ONTO
- 型 號：JetStep G35
- 技術資料：
- 閱讀次數：1161
產品介紹
JetStep G35 系統專為靈動性而設計，利用一系列高性能投影鏡頭為平板顯示器制造商實現高分辨率成像。Jetstep G35 系統是一款大批量制造成像系統，適用于高達 3.5 代的顯示器。JetStep G35 系統可實現低至 1.5µm 的高分辨率成像，并結合先進的高分辨率顯示器制造所需的配準和拼接精度。適用于高達Gen 3.5尺寸的平板顯示器應用的高分辨率成像。
性能特點
- 自動放大控制增加了工藝窗口
- 板載標線管理系統提供大利用率
- 用于現場校準的機載計量包
- 在每個曝光位置進行動態自動對焦，以自動調整面板拓撲上的焦點
- 提供系統性能和故障排除反饋的板載診斷
技術參數
- 行業標準的 6 英寸光罩格式，用于經濟的制造
- 低至 1.5µm 的高分辨率成像
