Ichor Systems 生產全系列常規、模塊化隔膜閥、模塊化計量閥和止回閥，其性能和純度均達到或超過所有行業標準。我們的常規隔膜閥 (CDV) 系列可為常規安裝系統提供高可靠性和價值，而我們的模塊化隔膜閥 (MDV) 系列則專為模塊化表面安裝系統而設計。我們所有閥門的設計均符合 SEMI 規范，具有良好的可靠性和性能，并與市場上所有競爭系統兼容。客戶須確保所選部件是符合其防護性能的適當部件，同時考慮到氣體/流體輸送系統的材料兼容性、操作條件、正確安裝等因素。

模塊化隔膜閥

1.125" C 型密封, 2 端口

手動操作

PFA / ASTM D3307

類型 II, 316L, 高純度

純度

材料

底座材料

傳動類型

端口數

密封類型

底座尺寸

產地：美國

工作壓力：真空至 150 psig

工作溫度：-10 至 150 ℃ (15 至 300 ℉)

底座尺寸：1.125 英寸

密封類型：C 形密封

端口數：2 個端口

主體材料：316L

純度等級：高純度

閥座材料：PFA/ASTM D3307, Type II

執行機構特性：1/4 轉

膜片材料：elgiloy

流量系數：0.3 cv

潤濕表面光潔度：10 ra

清洗：超聲波清洗和電拋光

驅動類型：手動操作

爆破壓力：4500 psig

執行壓力：65 至 125 psig

流體輸送、半導體、制造業、集成解決方案