模塊化氣體輸送系統的安裝需要安裝硬件。Ichor 提供氣體輸送安裝所需的全系列螺栓、安裝硬件和附件，包括熱電偶、集成加熱器和陶瓷。客戶須確保所選部件是符合其防護性能的適當部件，同時考慮到氣體/流體輸送系統的材料兼容性、運行條件、正確安裝等因素。

TMS 組件裝配螺栓

MJ5 X 0.8 mm

20 mm長

訂購號：02-10-0026-14描述：TMS 組件裝配螺栓，MJ5 x 0.8 mm，14 mm LG；長度：14 mm

訂購號：02-10-0026-20描述：TMS 組件裝配螺栓，MJ5 x 0.8 mm，30 mm LG；長度：20 mm

訂購號：02-10-0026-30描述：TMS 組件裝配螺栓，MJ5 x 0.8 mm，30 mm LG；長度：30 mm

訂購號：02-10-0026-38描述：TMS組件裝配螺栓，MJ5 x 0.8 mm，38mm LG；長度：38mm

產地：美國

螺紋類型：MJ5 x 0.8

安裝部件：組件

十六進制：4 mm

安裝零件結構類型：三明治

頭部類型：SHCS

表面處理：涂層

尺寸規格：NA0069

Min拉伸強度：1100 mpa (160,000 psi)

安裝：1.500" TMS 系統

部件長度：20 mm

主體材料：A286

流體輸送、半導體、制造業、集成解決方案