LEAP 準分子激光器集高占空比輸出、高可靠性和低擁有成本于一身。這使它們成為各種高要求、高產能、高精度微處理任務的適配光源,從顯示器制造到超導磁帶的卷對卷制造,不一而足。LEAP 激光器的波長為 193 nm、248 nm 或 308 nm,輸出功率高達 600 W(脈沖能量高達 1.25 J)。這種功率采用緊湊型封裝,易于集成到工具或其他生產設備中。
緊湊型工業設計,易于集成
按需脈沖,實現低成本高工作效率的激光升/降
高激光能量,用于快速大面積加工
以太網接口,用于控制和快速數據采集
193 nm、248 nm 和 308 nm 波長,可對多種材料進行優化加工
產地:美國
波長:193 nm
穩定能量范圍:200 至 250 mJ
Max 重復頻率:200 Hz
Max穩定平均功率:50 W
1 sigma 能量穩定性:≤ 2 %
脈沖持續時間(FWHM)典型值︰18 ns
光束尺寸(V x H,FWHM)典型值︰25 x 13 mm²
發散(V x H,FWHM)︰≤4.5 x ≤1.5 mrad²
Max穩定能量下的動態氣體壽命:20 百萬脈沖
電氣:3 相,200/208 或 400 VAC,50/60 Hz
水冷:8 至 20 升/分鐘;T=18 至 21 ℃
重量:860 kg(1896 磅)
機柜尺寸 (長x寬x高):2415 x 800 x (1090 ±10) mm;95.1 x 31.4 x (42.9 ±0.4) in
LLO - 激光剝離(OLED 和 MicroLED)、PLD - 脈沖激光沉積、LDP - 激光直接圖案化、微結構、LIFT - 激光誘導正向轉移(MicroLED)