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COHERENT準分子激光器LEAP 50A

  • 品  牌:COHERENT
  • 型  號:LEAP 50A
  • 技術資料:
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產品介紹

LEAP 準分子激光器集高占空比輸出、高可靠性和低擁有成本于一身。這使它們成為各種高要求、高產能、高精度微處理任務的適配光源,從顯示器制造到超導磁帶的卷對卷制造,不一而足。LEAP 激光器的波長為 193 nm、248 nm 或 308 nm,輸出功率高達 600 W(脈沖能量高達 1.25 J)。這種功率采用緊湊型封裝,易于集成到工具或其他生產設備中。

性能特點

緊湊型工業設計,易于集成

按需脈沖,實現低成本高工作效率的激光升/降

高激光能量,用于快速大面積加工

以太網接口,用于控制和快速數據采集

193 nm、248 nm 和 308 nm 波長,可對多種材料進行優化加工

選型指南

技術參數

產地:美國

波長:193 nm

穩定能量范圍:200 至 250 mJ

Max 重復頻率:200 Hz

Max穩定平均功率:50 W

1 sigma 能量穩定性:≤ 2 %

脈沖持續時間(FWHM)典型值︰18 ns

光束尺寸(V x H,FWHM)典型值︰25 x 13 mm²

發散(V x H,FWHM)︰≤4.5 x ≤1.5 mrad²

Max穩定能量下的動態氣體壽命:20 百萬脈沖

電氣:3 相,200/208 或 400 VAC,50/60 Hz

水冷:8 至 20 升/分鐘;T=18 至 21 ℃

重量:860 kg(1896 磅)

機柜尺寸 (長x寬x高):2415 x 800 x (1090 ±10) mm;95.1 x 31.4 x (42.9 ±0.4) in

產品尺寸

產品應用

LLO - 激光剝離(OLED 和 MicroLED)、PLD - 脈沖激光沉積、LDP - 激光直接圖案化、微結構、LIFT - 激光誘導正向轉移(MicroLED)


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