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COHERENT準分子激光器COMPex F2

  • 品  牌:COHERENT
  • 型  號:COMPex F2
  • 技術資料:
  • 閱讀次數:96

產品介紹

COMPex 準分子激光器是一種有效光源,設計緊湊,易于安裝和操作。它們可在固體取樣系統(LA-ICPMS)、材料研究(PLD)和材料加工等要求苛刻的應用中提供更高的效果。COMPex 采用陶瓷預電離技術,可提供數百毫焦輸出,以及高脈沖-脈沖穩定性。COMPex 還配備了改進的氣體處理器,可延長氣體和光學器件的使用壽命。

性能特點

可選擇 157 nm、193 nm、248 nm、308 nm 和 351 nm 波長,具有高材料靈活性

高達 750 mJ 的脈沖能量,可實現大場尺寸的有效燒蝕

0.75 % 均方根脈沖穩定性,確保高通量控制

脈沖控制和系統參數記錄,提供智能和可重現的薄膜

選型指南

可選功能與配件

高速 USB 2.0 標準 A:從激光控制器上傳/下載數據

高速 USB 標準 B:用于輸入/輸出操作模式的虛擬串行端口

以太網網絡連接 RJ45:向激光控制器上傳/下載數據/從激光控制器上傳/下載數據

技術參數

產地:美國

輸出波長:157;193 nm

脈沖能量:32;400 mJ

平均功率:1.6;15 W

Max重復率:50 Hz

1 sigma 能量穩定性:≤ 0.75 %

脈沖持續時間(FWHM)typ.:20 ns

光束尺寸(V x H,FWHM)typ.:22 x 8 mm2

光束發散(V x H,FWHM)typ. :3 x 1 mrad2

1 sigma 光束指向穩定性:≤ 50 µrad

電氣:200 至 240 V AC,16 A,50/60 Hz 可切換,單相;100 至 120 V AC,25 A,50/60 Hz 可切換,單相

水冷卻:≤ 5 l/min(1.3 gal./min)

環境溫度:10 至 20 ℃

連接尺寸: 1/2"

重量:325 kg(717 磅)

尺寸(長x寬x高):1658 x 375 x 813 mm;66 x 15 x 32 英寸

F-版本部件號:1314952

產品尺寸

產品應用

PLD - 脈沖激光沉積、薄晶片加工、激光剝離/脫粘、LA-ICP-MS


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