COMPex 準分子激光器是一種有效光源,設計緊湊,易于安裝和操作。它們可在固體取樣系統(LA-ICPMS)、材料研究(PLD)和材料加工等要求苛刻的應用中提供更高的效果。COMPex 采用陶瓷預電離技術,可提供數百毫焦輸出,以及高脈沖-脈沖穩定性。COMPex 還配備了改進的氣體處理器,可延長氣體和光學器件的使用壽命。
可選擇 157 nm、193 nm、248 nm、308 nm 和 351 nm 波長,具有高材料靈活性
高達 750 mJ 的脈沖能量,可實現大場尺寸的有效燒蝕
0.75 % 均方根脈沖穩定性,確保高通量控制
脈沖控制和系統參數記錄,提供智能和可重現的薄膜
高速 USB 2.0 標準 A:從激光控制器上傳/下載數據
高速 USB 標準 B:用于輸入/輸出操作模式的虛擬串行端口
以太網網絡連接 RJ45:向激光控制器上傳/下載數據/從激光控制器上傳/下載數據
產地:美國
輸出波長:157;193 nm
脈沖能量:32;400 mJ
平均功率:1.6;15 W
Max重復率:50 Hz
1 sigma 能量穩定性:≤ 0.75 %
脈沖持續時間(FWHM)typ.:20 ns
光束尺寸(V x H,FWHM)typ.:22 x 8 mm2
光束發散(V x H,FWHM)typ. :3 x 1 mrad2
1 sigma 光束指向穩定性:≤ 50 µrad
電氣:200 至 240 V AC,16 A,50/60 Hz 可切換,單相;100 至 120 V AC,25 A,50/60 Hz 可切換,單相
水冷卻:≤ 5 l/min(1.3 gal./min)
環境溫度:10 至 20 ℃
連接尺寸: 1/2"
重量:325 kg(717 磅)
尺寸(長x寬x高):1658 x 375 x 813 mm;66 x 15 x 32 英寸
F-版本部件號:1314952
PLD - 脈沖激光沉積、薄晶片加工、激光剝離/脫粘、LA-ICP-MS