MUEGGE等離子元件MWMUEGGE
- 品 牌：MUEGGE
- 型 號：MUEGGE
- 技術資料：
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產品介紹
低壓微波等離子體源
可擴展和緊湊的設計
大面積應用
高等離子體密度
高效率
低傷害
輕松適應定制系統
雙等離子體的組合可以用于獲得二維等離子體陣列。單個源以及2個，4個和8個平行排列的等離子體可用于等離子體輔助表面處理，如表面活化，蝕刻和沉積。雙等離子體是不使用磁場的直接微波等離子體源。在簡化的描述中，它類似于由微波激發的反向發光管，雙等離子體通常在約1000Pa至10Pa的低壓下操作。由兩個磁控管產生的具有2.45GHz頻率的微波在兩端被饋送到等離子體線中。在外部低壓狀態下放電點火，隨著微波功率的增加，等離子體從沿著管的兩端增長，并且形成軸向均勻的等離子體。
詳細參數
頻率：915MHz / 2450MHz / 5800MHz
HF-輸入功率：典型2 kW/ m @ 1 mbar
波導：同軸8/26
過程壓力：典型值0.1 mbar - 1 mbar
等離子體密度：在2450MHz時高達1012/ cm3
典型的過程氣體：ArO 2，N 2 H 2，NH 3，SiH 4，HMDSO
電子溫度：~2eV
同質性：優于5％
材料：
腔室：鋁
氣體噴淋：鋁
等離子體源：石英，AL2O3
冷卻：水/空氣合并
連接器：
同軸8/26（微波）
接頭套管（水，空氣，氣體）
尺寸：客戶特定
MW電源元件
MUEGGE短路活塞MW2009D-260ED
