XITON PHOTONICS激光系統IXION 193 SLM
- 品 牌：XITON PHOTONICS
- 型 號：IXION 193 SLM
- 技術資料：
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產品介紹
XITON PHOTONICS是泵浦固態激光器與非線性光學器件的專家。XITON PHOTONICS開發并制造了幾乎任何所需波長的可靠激光系統，波長范圍從深紫外185nm到中紅外5µm。XITON PHOTONICS是一家位于德國的全球運營公司，擁有超過15年的經驗。IXION 193 SLM是一種單頻全固態激光系統，用于光學計量、193nm步進光學器件的校準或高功率ArF準分子激光器的帶寬控制等應用。該系統的波長可在185至194nm之間的范圍內定制，并且可以在購買時預先配置為固定波長。作為一種選擇，將具有0.001nm光譜精度的高精度光譜儀集成到系統中。這允許大限度地控制激光器的光譜調諧。
性能特點
- 可靠性
技術參數
- 產地：德國
- 波長：193.368 nm
- 平均功率：10mW
- 脈沖持續時間：典型值8-12 ns
- 每脈沖能量：1.6µJ
- 重復頻率：1-15 kHz
- 光束質量：M²<1.6
- 頻譜帶寬：＜80 MHz
- 光譜可調諧性：>10pm
- 相干長度：>2 m
- 脈沖對脈沖刺入.：σ<2.5%
